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籽晶在副室内有效行程:2100mm20,坩埚升速范围:0.02~1mm/min21,坩埚快速:≥100mm/min22,坩埚在炉内有效行程:400mm23。封头炉盖高度:410mm 速范围:1~40rpm16,籽晶拉速范围:0.2~8mm/min17,籽晶快速:≥350mm/min18。晶体直径:¢6〞~¢8〞10,熔料量: 上炉室尺寸:φ900×9 炉极限真空度:<3Pa9翻板阀通径:φ280mm 范围:1~30rpm24主机重量:约7500Kg。
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一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体,后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。进一步地,所述加热片10能够上下。加热片10能够上下是为了方便操作人员具体控制保温屏9和上反射屏5的温度,当需要调节保温屏9的温场时,可以加热片10使其更靠近保温屏9,当需要调节上反射屏5的温场时,可以加热片10使其更靠近上反射屏5。